龍門式影像測(cè)量?jī)x通常采用光學(xué)技術(shù)和圖像分析算法，確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性和一致性，適用于半導(dǎo)體、微組裝、光通信等高精度測(cè)量場(chǎng)景。
X、Y、Z三軸伺服控制，定位精度高速度快，運(yùn)行平穩(wěn)；
花崗石直線度和玻璃平面度好，花崗石導(dǎo)軌無(wú)摩擦、不磨損；
可通過激光指示器尋找被測(cè)工件的具體位置，快速定位，方便快捷；
采用亞像素細(xì)分技術(shù)，提高邊界分辨能力；
具有快速自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)尋邊，強(qiáng)大的編程和自動(dòng)測(cè)量功能。
標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)方法：
1.使用標(biāo)準(zhǔn)量塊進(jìn)行像素尺寸校準(zhǔn)
將已知尺寸的標(biāo)準(zhǔn)量塊放置于工作臺(tái)中央，調(diào)整焦距至圖像清晰。
測(cè)量其在X、Y方向上的像素尺寸，計(jì)算實(shí)際長(zhǎng)度與像素比值，得出校準(zhǔn)系數(shù)。
校準(zhǔn)后可在全量程多個(gè)點(diǎn)位（如0mm、200mm、500mm及對(duì)角線）重復(fù)測(cè)試，確保線性精度。
2.精度檢驗(yàn)板校準(zhǔn)
采用帶有精確刻線或圓形特征的專用檢驗(yàn)板，測(cè)量其幾何參數(shù)（如圓心距、直線度）。
比較測(cè)量結(jié)果與標(biāo)稱值，計(jì)算偏差，判斷是否在允許誤差范圍內(nèi)（如(3+L/200)μm）。
3.激光干涉儀或玻璃線紋尺比對(duì)
使用更高精度的標(biāo)準(zhǔn)器（如激光干涉儀）作為基準(zhǔn)，覆蓋全行程至少7個(gè)校準(zhǔn)點(diǎn)。
此方法適用于高精度要求場(chǎng)景，可檢測(cè)二維示值誤差（Exy）和Z軸誤差（Ez）。
更新時(shí)間：2026-02-05
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